重生之互联网致富手册第378章 有了林本间我们的光刻机可以领先世界30年(2.4合1)
这层水,也就是“浸润”这个名字的由来。</p>
传统的技术,就是镜头直接面对晶圆,镜头和晶圆中间只是空气。</p>
虽说林本间从1986年就开始研究浸润式微影技术,但在早期,还有很多方法可用,并不一定需要浸润式这把牛刀,所以浸润式一直是一个冷门的技术,基本上没有引起外界的关注;</p>
浸润式真正引起轰动的是在2002年,当时,关于193纳米下不去这事已经火烧屁股了,林本间受邀到比立时参加“国际微影讨论会”,在会上再次提出浸入式技术,并发表了浸润式设备及操作的示意图。</p>
这一下可捅马蜂窝了,本来,大家都在讨论157纳米干式微影技术上,没想到突然杀出来一个林本间,说加一层水就从能从193纳米变132纳米。</p>
解决问题不是最重要的,最重要的是做量产机器的厂商愿意投入才行。</p>
本来,巨头们已经在157纳米光刻机研发上投入了不下十亿丑元,甚至还有厂商已经建好了157纳米镜头材料的工厂了。</p>
此时告诉他们,“干式微影没得搞,还是来搞浸润式吧”,这就相当于花出去的大笔经费都打水漂了。</p>
一时间,浸润式技术遭到了铺天盖地的反对和质疑。</p>
此时,林本间已经去到了湾积电工作,有一些巨头还朝着湾积电施压。</p>
张中谋还是很有眼光的,他不仅没有压制林本间,还很支持他的方案。</p>
于是,林本间带着自己的方案,在丑国、倭国、德意治等国来回奔波,花了一年多的时间,愣是没能说服一个厂商合作。</p>
林本间上门其实是很讨人嫌的,可他就像看不到别人的白眼,被拒绝了也不放弃,针对巨头们的需求和顾虑,不断地优化浸润式方案,一次又一次上门推销,这让各大厂商不堪其扰。</p>
一家公司甚至直接写信给林本间的上司蒋上义,要求他“管管林本间,让他收敛点,不要出来搅局,不要再来扰乱我们的研究进展和专注方向”。</p>
大多数的厂商都对林本间的方案将信将疑,甚至还有厂商表示坚决不用这项技术。</p>
只有合兰的asl认为林本间的浸润式要比157纳米的干式靠谱,愿意和林本间合作。</p>
这其实也并不是asl的眼光多么超群,只是因为当时的asl在国际上还算不上大个,根本就没有实力随大流,研究不了先进的157纳米的光源,林本坚的方案对他们来说就是一个意外之喜,搏一搏,万一单车能变摩托呢?</p>
再加上,湾积电也是asl的股东,双方一拍即合,共同研发浸润式光刻机。</p>
这一搏,还真就是单车变摩托了。</p>
只用了一年多,在2004年,在林本间和asl的合作下,世界上第一台134纳米波长的浸没式光刻机问世,45纳米制程的芯片是用浸润式技术量产的第一代芯片。</p>
此后,从40纳米起,一路下到到7纳米、5纳米,都是用浸润式光刻机生产的。</p>
asl就是靠着浸润光刻机,一路从小公司逆袭成业界巨无霸。</p>
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在2004年推出浸润光刻机之前,asl在世界市场占有率不足10,只能跟在霓康和嘉能后面吃点残羹冷炙;</p>
待到2007年,就是风水轮流转,asl的世界市场占有率突破60。</p>
在后世,只有asl一家能生产euv光刻机,在全球光刻机市场中,asl市场占有率高达89,昔日风光无限的霓康和嘉能市场份额则被挤压到了8和3。</p>
如果当初没有林本间开辟浸润式这一新赛道,只是在干式微影技术上死磕,那肯定就没有asl的一飞冲天。</p>
当然,这些都是后世发生的事情,赵德彬知道,但他无法告诉张思明。</p>
不过,跟着赵德彬这么长时间,张思明知道在技术上能领先世界是非常不容易的,他对林本间究竟有多么厉害还是有点概念的。</p>
于是,张思明问道:“林博士既然这么厉害,i应该不能放他走才对呀,为什么他愿意回国了呢?”</p>
“主要还是跟i有理念分歧,i并不支持林博士的研究。</p>
林博士在i是研究紫外线光刻技术,但行业里现在都认为紫外线没什么发展前景了,想要开始研究x射线。</p>
目前,i研究的重点放在了x射线上,这个项目的主管还是林博士的顶头上司,要人有人,要钱有钱,你说林博士在公司里能不坐冷板凳吗?</p>
那个x射线项目花了很多钱,林博士恳求公司领导,说只要给他一点点钱,哪怕只有x射线项目十分之一,他就能帮i做出十倍的成果,结果领导根本不理他。</p>
不仅上面忽视,林博士在公司里也不好过。</p>
有一次,林博士参加一个公司会议,当时,用紫外线做只能做 125微米的芯片,他在会议上说,要用紫外线做1微米,甚至07微米。</p>
马上,就有一个很厉害的同事跳出来笑他的想法是‘一个很好的科幻小说’。”</p>
张思明不忿道:“啊,i怎么这样,他们那个x光能做成吗?可是,你不是说那个最高级的euv也是紫外线光吗?这里面好像没有x光什么事啊。”</p>
“你放心,他们那个x光做不成。</p>
往后三十年,光刻机都是紫外线光的天下,x光至少在30年内不会商用。</p>
说到这个,我那天去见林博士,他给我讲了个笑话。</p>
有一天,隔壁x光项目有了进展,他的上司很高兴,给部门里每个人都发了件t恤,衣服上面写着‘x光能用!(x ray works)’。</p>
你说,林博士拿着这件t恤,这心里能好受吗?</p>
于是,他在这句话后面加了三个单词,让这句话变成了‘x光在牙医诊所能用(x ray works– for the dentists)’。</p>
然后,他把这件衣服用磁铁挂在他办公桌后面的文件柜上,让每个路过的同事都能看到。</p>
林博士一直对自己很有信心,他坚信紫外线不会这么快就玩完。</p>
事实也将会证明,他的紫外线光可以从1微米(1000纳米)做到5纳米。</p>
哎呀,林博士这人就是太老实了,你就是没见过他,你见了他就知道了。</p>
他说话轻声细语的,脾气很好很好,不争不抢的,我反正是想象不出他生气能是什么样</p>
像他这样的人,都能在i公开和上司唱反调,可想而知是受了多大委屈。”</p>
“这i真是识人不明,我看还是早点让林博士回来,还是咱们自己家好呀!”</p>
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