重燃2003第五十三章 追光行动（3）
会议室里的气氛变得沉重，大佬们纷纷叹息着，一个个说着难处。</p>
世纪初中国研究光刻机的难处具体有哪些，他们心中都有一本账。</p>
徐端颐首先开口，他的声音中透露出一丝无奈：“首先，高精度的光学系统我们国内几乎是空白，从头发展，年内都别想有所成果，依赖进口是唯一的选择。</p>
但一旦我们的光刻机成型，别人很可能不会卖给你的。”</p>
黄令仪接着补充道：“其次，光刻机中的精密机械部件，我们国内的加工精度和质量控制达不到要求。</p>
即便是有了设计图纸，没有相应的制造工艺，也是巧妇难为无米之炊。”</p>
王守武也摇了摇头：“再有，就是人才问题。光刻机的研发需要跨学科的高端人才，而这方面的人才储备，我们远远不足。</p>
即便是有心培养，也不是一朝一夕能够见效的。”</p>
严晓浪则是一脸严肃：“还有，就是研发资金的问题。光刻机的研发周期长，投入巨大，而且风险极高。</p>
没有持续稳定的资金支持，研发工作很难持续进行。”</p>
黎光楠叹了口气：“最关键的是，我们缺乏经验积累。</p>
光刻机的研发涉及到众多的技术和工艺，这些都是需要通过长期的实践和探索才能积累起来的。”</p>
在座的每一位大佬都清楚，这些难处，每一个都足够让一个国家的研发项目停滞不前，更何况是当时的华国，几乎是从零开始。</p>
研发光刻机的难度，远远超出了他们的预期，在卿云之前的‘商业思维’模式科普下，他们很清楚这不仅是技术上的挑战，更是整个产业链的挑战。</p>
而此时，卿云却在台上拍了拍手掌，试图提振一下气氛：“诸位前辈，我理解大家的顾虑，但请相信，我既然敢提出这个计划，自然有我的准备。”</p>
他环视了一圈，继续说道：“我准备分成两步走。</p>
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“计算光刻指的是利用各种物理，化学和数学模型去计算模拟真实光刻发生的过程和结果。</p>
通过修改各种参数，寻找最优的参数组合来修正掩膜板的图形和光源形状，来提升光刻的质量。</p>
这种模拟仿真的思路类似造飞机的时候需要经过很多次的风洞实验，都通过之后才能进行真正的试飞，否则既危险又成本高昂。</p>
计算光刻已经成为现代光刻技术研发的核心和最重要的环节之一。”</p>
那边的徐端颐也补充着，“量测，就是进行芯片的缺陷检测，判断芯片是否合格。</p>
一个晶圆的制作可能包含近百次的曝光，由于每次曝光的间隔都需要对晶圆进行移动调整，为了保证移动的稳定和精准，避免出现小至几纳米的误差导致芯片报废，就需要不断的对晶圆在纳米尺度做量测，并且实现校正和结果的反馈，从而不断的提升良率……”</p>
徐端颐的话还没说完，就被卿云展示出来的ppt给打断了，而后一脸便秘的望着台前正无良笑着的少年。</p>
狗日的！</p>
你便宜老师科普的时候你不打断，我特么说话的时候你就来打脸是吧！</p>
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